研究者・企業の方へ

 当研究室では、オリジナルのマイクロ・ナノ加工技術「三次元リソグラフィ法」(日米特許取得済み)を基盤技術として、他の方法では作製が困難な形状を加工し、その部品を組み合わせて集積化した応用展開として、安全・安心な社会を実現する高機能バイオ・IoTシステムの実現を目的とした研究を行っています。
 ニーズやシーズに関係した共同研究をはじめとして、材料提供や技術協力などのお問合せをお待ちしております。

ポリマーMEMS、有機デバイス統合研究

 有機エレクトロニクスと有機MEMSを融合したオールプラスチックシステムの実現に向けた研究を進めています。

【For What?】 目標
・ウェアラブル・ヘルスケア用途:医療デバイス
・フレキシブル用途:IoT応用(LiDAR、エネルギーハーベスティング)
・ディスポーザブル用途:バイオデバイス
【What's new? / What's challenge?】 新規な点、大きく挑戦する点
 ・従来にない3次元微細構造加工
 ・高速、複雑、大面積加工
 ・有機デバイス設計論構築
 ・実装技術を含む信頼性検証
【How to break the limit?】 目標を達成するための手法
・3次元リソグラフィ技術
・有機材料探索
・新規加工・評価装置開発
・FEM連成解析/モーダル解析
・広範囲応用探索(バイオ・IoT )
 【Read more:研究概要】 【Read more:研究者紹介】 【Read more:業績

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ポリマーMEMS:材料関連のニーズ

 ポリマーMEMS研究を進める中で必要性が増してきた材料ニーズをまとめました。関連材料をお持ちでしたら、是非、ご提供下さい。MEMS材料としての有用性検証や、用途探索を行います。
【フォトレジスト、熱硬化性樹脂(スピン、モールディング、フォトリソグラフィ)】
 ・低温プロセス対応( <100℃ )
 ・高剛性( >5GPa )
 ・高導電、異方性導電性
 ・絶縁性(150℃未満の成膜プロセス)
 ・低自家蛍光
 ・新規犠牲層材料(高エッチング選択比、薄膜形成性など)
【微細構造、ポリマーMEMSデバイス製作】
 ・3次元リソグラフィ、マイクロモールディング
 ・FEM解析、MEMS用途での材料評価、各種応用

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露光/MEMS関連のアイデア

 3次元リソグラフィ研究を進める中ででてきた連携希望項目です。
 ・専用露光装置の開発
 ・保有加工技術を組み合わせた新規加工技術の開発
 ・微細部品を用いた各種機器の開発 (環境発電 / 精密 / バイオ / 計測)
 ・各種バイオチップのシステム化/キット化(基礎研究~臨床応用向け全般)
 ・新規光反応性材料の開発
 ・応用探索(ご希望の形状加工検討)

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実装関連のアイデア

 3次元リソグラフィ法は、既存の半導体製造技術と機械・精密加工技術の空白領域にアプローチする加工法です。実装技術に関連したスケールやその高度化にマッチする可能性があります。
 ・樹脂やコンポジットのパターニング(印刷)、充填のための3Dメタル/樹脂マスクの製作
 ・チップパッケージング(モールディング)時の3D微細構造付与によるデバイス高機能化 (パワー、LED、センサ)
 ・3D微細構造のアンカー効果を利用した異種材料界面の接合強度向上
 ・MEMSデバイス(ハーベスタ、センサ、流体チップ)のパッケージング技術開発

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IoTデバイスのシーズ

 JSTさきがけ、JST-CRESTなどの基礎研究の成果として、IoTシステムのセンサノードに必須となる振動発電デバイスの研究を進めています。以下のようなデバイスの共同研究先を探しています。
 ・フレキシブルプリント基板
 ・圧電ポリマーを用いた低周波数振動発電
 ・ポリマー材料を用いたフレキシブル摩擦帯電
 ・微小振動センサ

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バイオデバイスのシーズ

 ポリマーMEMSは、ディスポーザブルであるため、さまざまなバイオマイクロシステムに適しています。以下のようなデバイスの開発経験があります。
 ・異種細胞ペアリングチップ
 ・単一細胞内遺伝子導入チップ
 ・細胞培養マイクロシステム
 ・浮遊細胞向け単一細胞固定マイクロシステム
 ・マイクロ流体in vitroがん浸潤モデル
 ・Body-on-a-Chip
 ・Optogenetics光刺激・電位計測アレイ
 ・POCT向け腫瘍マーカー計測システム
 ・放射線被曝量評価(血球遠心分離固定チップ)
 ・2D/3D微細積層構造からなる3次元細胞共培養基材
 ※各研究の詳細紹介ページを準備中です。