当研究室では、オリジナルのマイクロ・ナノ加工技術「三次元リソグラフィ法」（日米特許取得済み）を基盤技術として、他の方法では作製が困難な形状を加工し、その部品を組み合わせて集積化した応用展開として、安全・安心な社会を実現する高機能バイオ・IoTシステムの実現を目的とした研究を行っています。
ニーズやシーズに関係した共同研究をはじめとして、材料提供や技術協力などのお問合せをお待ちしております。
ポリマーMEMS、有機デバイス統合研究
有機エレクトロニクスと有機MEMSを融合したオールプラスチックシステムの実現に向けた研究を進めています。
【For What?】 目標
・ウェアラブル・ヘルスケア用途：医療デバイス
・フレキシブル用途：IoT応用（LiDAR、エネルギーハーベスティング）
・ディスポーザブル用途：バイオデバイス
【What's new? / What's challenge?】 新規な点、大きく挑戦する点
・従来にない3次元微細構造加工
・高速、複雑、大面積加工
・有機デバイス設計論構築
・実装技術を含む信頼性検証
【How to break the limit?】 目標を達成するための手法
・３次元リソグラフィ技術
・有機材料探索
・新規加工・評価装置開発
・FEM連成解析/モーダル解析
・広範囲応用探索（バイオ・IoT ）
【Read more：研究概要】 【Read more：研究者紹介】 【Read more：業績】
ポリマーMEMS：材料関連のニーズ
ポリマーMEMS研究を進める中で必要性が増してきた材料ニーズをまとめました。関連材料をお持ちでしたら、是非、ご提供下さい。MEMS材料としての有用性検証や、用途探索を行います。
【フォトレジスト、熱硬化性樹脂（スピン、モールディング、フォトリソグラフィ）】
・低温プロセス対応（ <100℃ ）
・高剛性（ >5GPa ）
・高導電、異方性導電性
・絶縁性（150℃未満の成膜プロセス）
・低自家蛍光
・新規犠牲層材料（高エッチング選択比、薄膜形成性など）
【微細構造、ポリマーMEMSデバイス製作】
・3次元リソグラフィ、マイクロモールディング
・FEM解析、MEMS用途での材料評価、各種応用
露光/MEMS関連のアイデア
3次元リソグラフィ研究を進める中ででてきた連携希望項目です。
・専用露光装置の開発
・保有加工技術を組み合わせた新規加工技術の開発
・微細部品を用いた各種機器の開発 （環境発電 / 精密 / バイオ / 計測）
・各種バイオチップのシステム化/キット化（基礎研究～臨床応用向け全般）
・新規光反応性材料の開発
・応用探索（ご希望の形状加工検討）
実装関連のアイデア
3次元リソグラフィ法は、既存の半導体製造技術と機械・精密加工技術の空白領域にアプローチする加工法です。実装技術に関連したスケールやその高度化にマッチする可能性があります。
・樹脂やコンポジットのパターニング(印刷)、充填のための3Dメタル/樹脂マスクの製作
・チップパッケージング(モールディング)時の3D微細構造付与によるデバイス高機能化 (パワー、LED、センサ)
・3D微細構造のアンカー効果を利用した異種材料界面の接合強度向上
・MEMSデバイス（ハーベスタ、センサ、流体チップ）のパッケージング技術開発
IoTデバイスのシーズ
JSTさきがけ、JST-CRESTなどの基礎研究の成果として、IoTシステムのセンサノードに必須となる振動発電デバイスの研究を進めています。以下のようなデバイスの共同研究先を探しています。
・フレキシブルプリント基板
・圧電ポリマーを用いた低周波数振動発電
・ポリマー材料を用いたフレキシブル摩擦帯電
・微小振動センサ
バイオデバイスのシーズ
ポリマーMEMSは、ディスポーザブルであるため、さまざまなバイオマイクロシステムに適しています。以下のようなデバイスの開発経験があります。
・異種細胞ペアリングチップ
・単一細胞内遺伝子導入チップ
・細胞培養マイクロシステム
・浮遊細胞向け単一細胞固定マイクロシステム
・マイクロ流体in vitroがん浸潤モデル
・Body-on-a-Chip
・Optogenetics光刺激・電位計測アレイ
・POCT向け腫瘍マーカー計測システム
・放射線被曝量評価（血球遠心分離固定チップ）
・2D/3D微細積層構造からなる3次元細胞共培養基材
※各研究の詳細紹介ページを準備中です。