准教授：田中有弥 （サイト準備中です）
技術補佐員：多和田七七子
学生（鈴木指導）：
M2：小山健太朗、佐野涼太、関口天、丸山博史
M1：森下浩多、山田光将、山吉慧
B4：伊藤陸、大泉歩夢、CHEN YUFEI、長谷川峻大、米沢琴音
B3：2022年10月受入予定
学生（田中指導）：
M2：受入準備中
M1：受入準備中
B4：受入準備中
B3：2022年10月受入開始予定
研究員・補佐員
学生（鈴木指導）
| 修士課程2年生 | |
| 小山 健太朗 （M2） |
単一細胞固定マイクロアレイの加工 |
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・電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2021/7/26-27, オンライン開催（Webex) ・日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2021/11/9-11、オンライン開催 ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2021, 2021/12/22、オンライン開催（ZOOM） |
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| 佐野 涼太 （M2） |
単一細胞固定マイクロアレイの応用 |
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・電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2021/7/26-27, オンライン開催（Webex) ・The 25th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2021), 2021/10/10-14, In-Person & Virtual (Palm Spring, California, USA) ・電気学会 第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2021/11/9-11、オンライン開催 ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2021, 2021/12/22、オンライン開催（ZOOM） ・日本機械学会関東支部群馬ブロック 優秀発表賞（2021年） ・日本機械学会情報・知能・精密部門 部門大会, 2022/3/7, オンライン開催 |
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| 関口 天 （M2） |
UV-PDMSの微細加工法とメタマテリアル応用 |
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・日本機械学会 2021年度 年次大会, 2021/9/5-8, オンライン開催（ZOOM） ・日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2021/11/9-11、オンライン開催 ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2021, 2021/12/22、オンライン開催（ZOOM） ・日本機械学会情報・知能・精密部門 部門大会, 2022/3/7, オンライン開催 |
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| 丸山 博史 （M2） （元GFL） |
ポリマーMEMSプロセスのための犠牲層検討とその応用 |
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・第26回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate2020）, 2020/1/28-29, パシフィコ横浜（神奈川県横浜市） ・電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2021/7/26-27, オンライン開催（Webex) |
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| 修士課程1年生 | |
| 森下 浩多 （M1） |
圧電ポリマー材料を用いた振動発電MEMSデバイスに関する研究 |
| 山田 光将 （M1） |
染色体伸張解析を目的としたバイオMEMSデバイスに関する研究 |
| 山吉 慧 （M1） |
摩擦帯電（トライボエレクトロニクス）による発電デバイスに関する研究 |
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・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2021, 2021/12/22、オンライン開催（ZOOM） |
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| 学部4年生 | |
| 伊藤陸 （B4） |
特徴的な振動検出を目的としたバイオミメティクスＭＥＭＳセンサの開発 |
| 大泉歩夢 （B4） |
流体デバイス実装に関する研究 |
| CHEN YUFEI （B4） |
プリズムアシスト３Ｄリソグラフィ法を用いた微小再帰性反射材の作製方法に関する研究 |
| 長谷川峻大 （B4） |
圧電ポリマー材料を用いた振動発電デバイスに関する研究 |
| 米沢 琴音 （B4） （GFL） |
摩擦帯電（トライボエレクトロニクス）による発電デバイスに関する研究 |
| ・群馬大学GFL 2021年度 研究発表会 優秀発表賞 | |
| 学部3年生 | |
| B3学生 | 未公開（2022年10月募集予定） |
| 学部2年生（GFL生） | |
| B2学生 （GFL） |
非公開（2022年度・募集中） |
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卒業・修了生（OB・OG）
| 2021年度修了・卒業・異動 | |
| Vivek Anand Menon (JST-CREST研究員) |
ＭＥＭＳエネルギーハーベスティングに関する研究 |
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・日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2021/11/9-11、オンライン開催 ・The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2022), 2022/1/9-13, Tokyo, Japan |
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| 青木 悠里 (M2) |
流体デバイス実装に関する研究 |
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・電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2020/7/6-7, オンライン開催（Webex） ・電気学会 第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020/10/26-28、オンライン開催 ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2020, 2020/12/23、群馬大学桐生キャンパス同窓記念会館（群馬県桐生市） ・日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2021/11/9-11、オンライン開催 ・日本マリンエンジニアリング学会 林俊一賞（優秀大学院生奨励賞）（2022年） |
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| 北澤 幹人 (M2) |
振動発電に関する研究 |
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・日本機械学会 2020年度 年次大会, 2020/9/13-16, オンライン開催（ZOOM, YouTube） ・日本機械学会 第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2020/10/26-28、オンライン開催 ・日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2021/11/9-11、オンライン開催 ・The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2022), 2022/1/9-13, Tokyo, Japan ・日本機械学会第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 若手優秀講演表彰（2022年） ・JST CREST/さきがけ複合領域 令和3年度成果展開VRシンポジウム, 2022/3/7、オンライン開催(Virbela) ・日本機械学会 三浦賞（2022年） |
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| 柳田 幸祐 (M2) |
摩擦発電に関する研究 |
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・日本機械学会 第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019/11/19-21、アクトシティ浜松（静岡県浜松市） ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2019, 2019/12/6、群馬大学桐生キャンパス同窓記念会館（群馬県桐生市） ・電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2020/7/6-7, オンライン開催（Webex) ・電気学会 第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020/10/26-28、オンライン開催 ・電気学会第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 奨励賞（2020年） ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2020, 2020/12/23、群馬大学桐生キャンパス同窓記念会館（群馬県桐生市） ・群馬大学 令和3年度卓越した学生（2021年） ・日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2021/11/9-11、オンライン開催（予定） ・Materials Research Meeting 2021, 2021/12/13-17, Pacifico Yokohama ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2021, 2021/12/22、オンライン開催（ZOOM） ・群馬大学 学長表彰（2022年） |
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| 菅原 奈々子 (B4) |
プリズムアシスト３Ｄリソグラフィ法を用いた微小再帰性反射材の作製方法に関する研究 |
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| 平田 共生 (B4) |
特徴的な振動検出を目的としたバイオミメティクスＭＥＭＳセンサの開発 |
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| 2020年度修了・卒業・異動 | |
市毛 亮 |
Energy hearvester（新構造）に関する研究 |
・文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 平成30年度学生研修, |
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栗山 頌明 |
Energy hearvester（圧電薄膜）に関する研究 |
・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2018, |
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須賀 海成 |
ヒト染色体向け遺伝子解析チップに関する研究 |
・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2018, |
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| 反町 有希 (B4) |
トライボ発電技術に関する研究 |
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| 2019年度修了・卒業・異動 | |
上野 秀貴 |
Body on a chipに関する研究 神経細胞ネットワーク解析のための局所光刺激デバイスの開発 エナジーハーベスタに関する研究 |
・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2014）, |
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飯田 泰基 |
3次元リソグラフィ法の角度制御性の検証とそのデバイス応用 |
・日本機械学会 2018年度 年次大会, |
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池田 直樹 |
人の歩行振動から発電するポータブルポリマー発電デバイスの開発 |
・日本機械学会 2018年第26回茨城講演会, |
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福岡なるみ |
単一細胞固定のための傾斜流路構造を持つウェルアレイの開発 |
・日本機械学会 2018年度 年次大会, |
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| 青木 将也 (B4) |
マイクロオーダーのアンカー効果に着目したポリマー材料の接合技術 |
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| 2018年度修了・卒業 | |
| 海野 陽平（M2） | Energy hearvesterに関する研究 |
| ・文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 平成28年度学生研修, 2016/7/27-29,東京工業大学 ・8th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2016/12/9, Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan. ・日本機械学会 2017年度 年次大会, 2017/9/3-6、埼玉大学（埼玉県） ・電気学会 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017/10/31-11/2、広島国際会議場（広島県） ・The 17th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2017）, 2017/14-17, Kanazawa, Japan ・第24回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム, 2018/1/30-31, パシフィコ横浜（横浜市） ・『就職四季報』第8回表紙イラスト案コンテスト:最優秀賞 2018/08/27 ・日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 マイクロナノ工学シンポジウム, 2018/10/30-11/1、札幌市民交流プラザ（北海道札幌市） ・電気学会第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞 受賞（2018） ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2018, 2018/12/7、群馬大学桐生キャンパス同窓記念会館（群馬県桐生市） ・第25回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム, 2019/1/29-30, パシフィコ横浜（横浜市） ・日本機械学会情報・知能・精密部門 部門大会, 2019/3/21, 東洋大学川越キャンパス（埼玉県川越市） ・日本機械学会 三浦賞（2019） |
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| 田村 隆大（M2） | 染色体チップ、放射線リスクに関する研究 |
| ・文部科学省 科学研究費補助金 新学術領域研究「宇宙に生きる」若手「夏の合宿」, 2016/8/5-6,JAXAつくば宇宙センター ・化学とマイクロ・ナノシステム学会第３６回研究会, 2017/10/4-5,群馬県桐生市市民文化会館（群馬県） ・電気学会BMS研究会, 2017/10/4,群馬県桐生市市民文化会館（群馬県） ・The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017), 2017/10/22-26, Savannah, USA ・電気学会 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017/10/31-11/2、広島国際会議場（広島県） ・電気学会 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2018/10/30-11/1、札幌市民交流プラザ（北海道札幌市） ・31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2018/11/13-16, Sapporo, Japan ・日本機械学会関東支部群馬ブロック研究交流会2018, 2018/12/7、群馬大学桐生キャンパス同窓記念会館（群馬県桐生市） ・日本機械学会関東支部群馬ブロック 優秀ポスター発表賞（2018） |
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| 塚本 拓野（M2、GFL） | Energy hearvesterに関する研究 |
| ・日本マリンエンジニアリング学会 山下勇賞(優秀学生奨励賞) 受賞（2017年） ・8th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2016/12/9, Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan. ・電気学会E部門総合研究会, 2017/06/30、イーグレひめじ ・日本機械学会 2017年度 年次大会, 2017/9/3-6、埼玉大学（埼玉県） ・日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 マイクロナノ工学シンポジウム, 2017/10/31-11/2、広島国際会議場（広島県） ・The 17th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2017）, 2017/11/14-17, Kanazawa, Japan ・International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System 2017, 2017/11/29-12/1, Kiryu, Japan. ・ICMEMIS2017 Best Student Paper 受賞（2017年） ・日本機械学会 若手優秀講演フェロー賞 受賞（2018年） ・電気学会 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2018/10/30-11/1、札幌市民交流プラザ（北海道札幌市） ・日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 マイクロナノ工学シンポジウム, 2018/10/30-11/1、札幌市民交流プラザ（北海道札幌市） ・電気学会第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞 受賞（2018） ・The 18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018）, 2017/12/4-7, Daytona Beach, USA ・群馬大学 平成30年度卓越した学生（2018年） ・群馬大学 学長表彰（2019年） |
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江黒 昂騎（B4） |
3次元リソグラフィ法の加工精度の検証とそのデバイス応用 |
| ・企業との共同研究 | |
| 2017年度修了・卒業 | |
| 森川 樹 （総合理工学科） |
ヘリンボーン溝を組み込んだマイクロ流路内の分子拡散の評価 |
| 群馬大学での指導学生 2016年度卒業 |
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| 伊東 貴広（B4） | Optogeneticsデバイスに関する研究 |
| ・群馬大学工業会奨励賞 受賞（2017年） ・奈良先端科学技術大学院大学：駒井研究室との共同研究 |
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| 佐藤 竜偉（B4） | Single cell arrayに関する研究 |
| ・電気学会 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016/10/24-26,平戸文化センター（長崎県平戸市） | |
| NUR SYAZURA（B4） | マイクロヒートシンクの作製技術に関する研究 |
| ・企業との共同研究 | |
| 香川大学での指導学生 2016年度修了・卒業 |
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| 鈴木 淳也（D3） （2012年度修士課程から 配属） |
感光性磁気コンポジットの材料基礎物性とそのMEMS応用 |
| ・IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference, 2012/8/6-9, Banff, Alberta, Canada ・第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012/10/22-24, 北九州国際会議場 (福岡県北九州市) ・日本機械学会 2013年度 年次大会, 2013/9/9-11、岡山大学（岡山県） ・IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference, 2013/8/18-22, Kanazawa, Japan ・第23回ＭＡＧＤＡコンファレンス ｉｎ 高松 2014/12/4-5, サンポートホール高松（香川県高松市） ・International Symposium on Applied Electromagnetics and Mechanics, 2015/9/15-18, Kobe, Japan. ・博士（工学）の学位を取得 |
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| 香川 大地 （M2） | ナノフォトニクスデバイスに関する研究 （研究テーマ未公開）鈴木の異動に伴い、テーマ変更。 |
| ・第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2015/10/28-30, 朱鷺メッセ（新潟県新潟市） |
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古谷 尚輝 （M2） |
植物細胞向けバイオデバイスに関する研究 |
| ・第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2015/10/28-30, 朱鷺メッセ（新潟県新潟市） ・電気学会 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016/10/24-26,平戸文化センター（長崎県平戸市） ・International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016 2016/12/16-18,東京大学本郷キャンパス（東京都文京区） |
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| 2015年度修了・卒業 | |
| 上野 秀貴（M2） | 神経細胞ネットワーク解析のための局所光刺激デバイスの開発 |
| ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2014）, 2014/3/18-19,東洋大学白山キャンパス（東京都文京区） ・第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014/10/20-23, くにびきメッセ（島根県松江市） ・2015 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2015), 2015/6/14-17, Kobe, Japan. ・第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2015/10/28-30, 朱鷺メッセ（新潟県新潟市） ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2016）, 2016/3/18-19,東洋大学白山キャンパス（東京都文京区） |
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| 北野 広大（M2） | 遠心力を用いた高速DNAファイバ解析デバイスの染色体伸張特性 |
| ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2014）, 2014/3/18-19,東洋大学白山キャンパス（東京都文京区） ・第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014/10/20-23, くにびきメッセ（島根県松江市） ・第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2015/10/28-30, 朱鷺メッセ（新潟県新潟市） |
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| 濱 治慶（M2） | ECRプラズマエッチングに対する真空UVキュアレジストのプラズマ耐性の評価 |
| ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2014）, 2014/3/18-19,東洋大学白山キャンパス（東京都文京区） ・第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2015/10/28-30, 朱鷺メッセ（新潟県新潟市） |
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| 藤原 清（M2） | 低粘度厚膜フォトレジストを用いた高精度スプレー塗布法の開発 |
| ・日本機械学会 2013年度 年次大会, 2014/9/7-10、東京電機大学（東京都） ・第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2015/10/28-30, 朱鷺メッセ（新潟県新潟市） |
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| 石井 敬洋（M2） （2013年度修士課程から 配属） |
オリフィス構造を有するマイクロ流体デバイスにおける細胞固定効率の改善 |
| ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2014）, 2014/3/18-19,東洋大学白山キャンパス（東京都文京区） |
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| 氏家 弘瑛（B4） | （研究テーマ未公開）鈴木の異動に伴い、テーマ変更。 |
| 河合 駿（B4） | Polymer-MEMSミラーの製作方法に関する研究 |
| ・第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2015/10/28-30, 朱鷺メッセ（新潟県新潟市） |
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| 土肥 大輝（B4） | （研究テーマ未公開）鈴木の異動に伴い、テーマ変更。 |
| 門田 直也（B4） | 流体デバイス内部の圧力測定に関する研究 |
| 竹中 優太（B4） | （研究テーマ未公開）鈴木の異動に伴い、テーマ変更。 |
| 上野 史華（B4） | MEMSミラーの制御に関する研究 |
| ・8th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering, 2016/12/9, Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan. |
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| 三條 亨（B4） | MEMSミラーの制御に関する研究 |
| 2014年度修了・卒業 | |
| 植田 勇作（M2) | 感光性ナノコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロポンプの開発 |
| ・IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference, 2012/8/6-9, Banff, Alberta, Canada ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2013）, 2013/3/21-22, 東洋大学（東京都） ・第22回ＭＡＧＤＡコンファレンス ｉｎ 宮崎 2013/12/2-3, 宮崎観光ホテル（宮崎県宮崎市） ・第23回ＭＡＧＤＡコンファレンス ｉｎ 高松 2014/12/4-5, サンポートホール高松（香川県高松市） |
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| 玉井 秀隆（M2) | PDMS製マイクロ流体システムのための接合技術に関する研究 |
| ・第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012/10/22-24, 北九州国際会議場 (福岡県北九州市) ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2013）, 2013/3/21-22, 東洋大学（東京都） ・日本機械学会 2013年度 年次大会, 2013/9/9-11、岡山大学（岡山県） ・第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2013/10/22-24, 仙台国際センター（宮城県仙台市） ・第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014/10/20-23, くにびきメッセ（島根県松江市） ・IEEE-NANOMED2014, 2014/11/9-12, Kaohsiung, Taiwan |
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| 山下 絋史（M2) | Polymer-MEMSミラーへのセンサ集積化に関する研究 |
| ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2013）, 2013/3/21-22, 東洋大学（東京都） ・日本機械学会 2013年度 年次大会, 2013/9/9-11、岡山大学（岡山県） ・IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference, 2013/8/18-22, Kanazawa, Japan ・第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2013/10/22-24, 仙台国際センター（宮城県仙台市） ・IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference, 2014/8/17-21, Glasgow, Scotland |
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| 池田 亜矢（B4) | シリコンのケミカルエッチング技術に関する研究 |
| 北濱 若奈（B4) | 複数種細胞の順次配列のための細胞アレイに関する研究 |
| 2013年度修了・卒業 | |
| 西﨑 隼人（M2) | 回転傾斜露光法の光選択性評価とマイクロエレクトロポレーションチップへの応用 |
| ・日本機械学会 2012年度 年次大会, 2012/9/10-12、金沢大学（石川県） ・第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012/10/22-24, 北九州国際会議場 (福岡県北九州市) ・日本機械学会 第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2013/11/5-7, 仙台国際センター（宮城県仙台市） |
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| 新田 祐幹（M2) | 回転傾斜露光法の構造微細化の検討と染色体伸張解析チップの評価 |
| ・ 電気学会E部門 平成24年度総合研究会, 2012/6/11-12, 京都大学（京都市） ・The 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 2012/10/28-11/1, Okinawa, Japan ・第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012/10/22-24, 北九州国際会議場 (福岡県北九州市) ・日本機械学会 2013年度 年次大会, 2013/9/9-11、岡山大学（岡山県） ・第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2013/10/22-24, 仙台国際センター（宮城県仙台市） |
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| 藤村 仁也（M2) | プラズマエッチングにおけるレジスト選択性評価とシリコンリリース構造作製への応用 |
| ・日本機械学会 2012年度 年次大会, 2012/9/10-12、金沢大学（石川県） ・第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012/10/22-24, 北九州国際会議場 (福岡県北九州市) ・日本機械学会 2013年度 年次大会, 2013/9/9-11、岡山大学（岡山県） |
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| 2012年度修了・卒業 | |
| 赤松 幹夫（M2） | スプレーコート法を用いた大面積異形基板への樹脂均一塗布法の構築と導光板作製技術への応用 |
| ・第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011/9/26-27, タワーホール船堀 (東京都) ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2011）, 2010/3/22-23, 東京電機大学（東京都） ・JSME International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 2011/12/17-18, ROHM Plaza, Kyoto, Japan ・IEEE-NEMS2012, 2012/3/5-8, Kyoto, Japan ・第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012/10/22-24, 北九州国際会議場 (福岡県北九州市) |
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| 井上 雅俊（M2） | MEMS材料の物性評価に関する試験片作製法の構築と細胞培養チップへの応用 |
| ・第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011/9/26-27, タワーホール船堀 (東京都) ・日本機械学会 2011年度 年次大会, 2011/9/12-14、東京工業大学（東京都） ・JSME International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 2011/12/17-18, ROHM Plaza, Kyoto, Japan ・IEEE-NEMS2012, 2012/3/5-8, Kyoto, Japan ・第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012/10/22-24, 北九州国際会議場 (福岡県北九州市) ・IEEE-NANOMED2012, 2012/11/4-7, Bangkok, Thailand |
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三浦 卓也（M2） |
感光性ナノコンポジットを用いた磁気駆動型ポリマーMEMSミラーの開発 |
・Optical-MEMS 2011, |
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| 清野 知史（B4) | 回転傾斜露光法のシミュレーションに関する研究 |
| 2011年度修了 | |
佐々木 修（M2） |
感光性ポリイミドを用いたポリマーMEMSミラーの開発 |
・第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, |
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| 鈴木 博之（M2） | 回転傾斜露光法による複雑樹脂構造作製と染色体伸張解析チップへの応用 |
・第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, |
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| 中原 佐（M2） （修士課程から配属） |
感光性ナノコンポジットを用いたダイヤフラム構造作製法の構築とマイクロポンプへの応用 |
・第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, |
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| 福田 泰佑（M2） （修士課程から配属） |
回転傾斜露光法の露光特性評価とマイクロエレクトロポレーションチップへの応用 |
・第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, |
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| 細川 祐揮（M2） | 感光性ナノコンポジットの加工特性評価と流路内振動子作製への応用 |
・日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議、第3回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」 2011/9/26-27, タワーホール船堀 (東京都) |
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| 三嶋 利幸（M2） | 単結晶シリコンの結晶異方性プラズマエッチング技術の構築と複雑シリコン構造作製への応用 |
| ・第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011/9/26-27, タワーホール船堀 (東京都) ・IEEE MEMS 2011, 2011/01/23-27, Cancun, Mexico ・第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2010/10/14-15, くにびきメッセ（島根県） |
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| 2010年度修了・卒業 | |
| 平丸 大介（D3） （京都大学より指導委託） |
・APCOT2010, 2010/7/6-9, Perth, Australia ・MicroTAS2009, 2009/11/1-5, Jeju, Korea ・MIPE2009, 2009/6/17-20, Ibaraki, Japan ・第18回ＭＡＧＤＡコンファレンス ｉｎ 東京, 2009/11/19-20, 東京都市大学世田谷キャンパス（東京都） ・日本機械学会 2009年度年次大会, 2009/9/13-16, 岩手大学（岩手県） ・第17回ＭＡＧＤＡコンファレンス ｉｎ 日立, 2008/11/20-21, 日立シビックセンター（茨城県） ・第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2008/10/22-24, 沖縄コンベンションセンター（沖縄県） |
| 高崎 翔一（B4) | ・日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会（IIP 2011）, 2010/3/22-23, 東京電機大学（東京都） |
| 浅沼 俊幸（B4) | ・第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2010/10/14-15, くにびきメッセ（島根県） |
2008年後期から香川大学で独立研究室として、学生の受け入れを開始しました。 |
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